招標(biāo)公告

1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項目中束流離子注入機 該項目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對中束流離子注入機進行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250429A001

2.2 招標(biāo)項目名稱：中束流離子注入機。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：本次購買的中束流離子注入機用于晶圓摻雜工藝。其原理是通過先將所需雜質(zhì)電離，然后由電場引出，再通過磁場篩選，形成一個集中的離子束，最終注入到硅片中，達到摻雜目的。中束流離子注入機由氣源柜、離子源腔室、離子束腔室、工藝腔室、傳送模塊、操作控制模塊、廠務(wù)動力模塊等模組組成。

2.5 交貨

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1投標(biāo)人須為具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照。

3.2業(yè)績要求：投標(biāo)人需提供本次投標(biāo)同型號或同系列的中束流離子注入機設(shè)備從2022年至今累計銷售量至少5臺并驗收合格的業(yè)績；須提供設(shè)備采購合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁、合同簽訂時間、合同標(biāo)的物名稱及其型號；同時提供驗收合格的證明材料。

3.3 其它要求：本次招標(biāo)不接受代理商投標(biāo)。

3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

4.

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編輯：365trade